真空鍍膜廠家生產設備的配置因工藝流程而異,但一般需要以下幾類設備。
真空質量檢測儀:用于檢測真空質量,如真空度、氣體成分等。檢測結果可以提供給其他設備參考,以確保設備工作順暢。
真空泵:用于排出工藝室內氣體,保持工藝室真空度。根據不同的需求,可以選擇多級旁通油封泵、羅茨泵、干式泵以及分子泵等。
濺射鍍膜設備:主要由光源、電源、反應室以及底座、夾具等部分構成。通過電子束或電弧等方式將金屬或半導體材料熔化并濺射到基底上,質量均勻且造價較低。
電子束鍍膜設備:其主要組成部分為反應室、電子束裝置、工業自動化控制系統等。通過電子束使材料加熱到蒸發溫度,并把蒸汽噴灑在基底上,成膜速度快,精度高,適用于光學功能薄膜和高階電子元器件等。
等離子體增強化學氣相沉積設備:也稱作PECVD設備,是通過離子化的氣體生成等離子體,并通過化學反應生成膜層。適用于制備功能性涂層,如硅氫化膜、氮化銅等。
磁控濺射設備:真空鍍膜廠家直銷批發的產品使用恒磁或變磁場將磁性材料熔化,并噴射到基底上。該設備制備的膜層厚度均勻,結構致密,適用于制備光學鏡片以及磁盤等。
光譜儀:用于測試薄膜的光學性質、厚度和材料成分。通過反射率、吸收率、折射率等精細定量分析薄膜狀況,供質量控制人員進行質量管理。
清洗設備:用于清洗基底和膜層,去除表面雜質。常用的清洗方法包括化學氧化、離子水洗等。
烘烤爐:用于烘干基底及膜層。通過加熱基底、膜層達到特定溫度,去除水分和有機物質,增強膜層附著力和質量。
處理氣體供應器:七彩金屬真空鍍膜廠家常用的處理氣體有氮氣、氧氣、氬氣、氦氣、乙炔、氨氣等,常用于清洗、備料、反應原料、抽氣、保護等。
總之,真空鍍膜生產設備種類繁多,每一種設備的特點和應用場景各異,選擇合適的設備能夠提高生產效率、質量和降低成本。
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